AlN AlGaN

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Actuando como material fundamental para los LED ultravioleta-profundo (DUV),

dispositivos de potencia, dispositivos de RF y otros dispositivos optoelectrónicos de vanguardia.

Oblea AlN

Dimensión: 2 pulgadas (φ50,8 mm ± 0,1 mm)
Sustrato: zafiro pulido de una o dos caras-(Al₂O₃)
Rango de espesor: 0,5 μm a 5 μm
Orientación del cristal: plano C-(0001)
Calidad del cristal: requisitos de difracción de rayos X-(XRD) de ancho total a la mitad del máximo (FWHM), correspondientes a los rangos de espesor de AlN:
Espesor 0.5 - 1 μm: (002) plano FWHM Menor o igual a 120 segundos de arco; (102) plano FWHM Menor o igual a 950 segundos de arco.
Espesor 1 - 2 μm: (002) plano FWHM Menor o igual a 120 segundos de arco; (102) plano FWHM Menor o igual a 600 segundos de arco.
Espesor 2 - 3 μm: (002) plano FWHM Menor o igual a 150 segundos de arco; (102) plano FWHM Menor o igual a 500 segundos de arco.
Espesor 3 - 4 μm: (002) plano FWHM Menor o igual a 180 segundos de arco; (102) plano FWHM Menor o igual a 400 segundos de arco.
Espesor 4 - 5 μm: (002) plano FWHM Menor o igual a 180 segundos de arco; (102) plano FWHM Menor o igual a 320 segundos de arco.
Descantillados/Grietas en los bordes: Menos de 2 mm.
Rugosidad de la superficie: Ra < 1,5 nm en un área de 10 × 10 μm (medida por AFM).
Embalaje:-sellado al vacío en un entorno de sala limpia de clase 10 000. Empaquetado en casetes de 25-piezas o contenedores de una sola oblea.

AlN: superficie ultra-lisa

• Baja densidad de defectos

• Sellado al vacío-

Oblea de AlGaN

Dimensión: 2 pulgadas (φ50,8 mm ±0,1 mm)
Sustrato: zafiro pulido de una o dos caras-(Al₂O₃)
Rango de espesor: 5 nm a 3000 nm
Orientación del cristal: plano C-(0001)
Bandgap Energy: personalizable según los requisitos del cliente (mediante ajuste de composición de Al)
Calidad del cristal: Especificación de referencia (para AlGaN de 1,5 μm con 60 % de Al):
(002) plano XRD FWHM Menor o igual a 350 segundos de arco
(102) plano XRD FWHM Menor o igual a 600 segundos de arco
Nota: La calidad específica del cristal (valores XRD FWHM) se adapta con precisión de acuerdo con la composición real de Al y el espesor de la capa.
Descantillados/Grietas en los bordes: Menos de 2 mm.
Embalaje:-sellado al vacío en un entorno de sala limpia de clase 10 000. Empaquetado en casetes de 25-piezas o contenedores de una sola oblea.

AlGaN: banda prohibida sintonizable

• Espesor 5 nm–3 µm

• Especificaciones XRD personalizadas